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上海伯東美國考夫曼霍爾離子源于離子刻蝕 （IBE） 應(yīng)用

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)經(jīng)銷商

所  在  地上海市

聯(lián)系方式：孔念偉查看聯(lián)系方式

更新時間：2017-08-11 02:58:28瀏覽次數(shù)：478次

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經(jīng)營模式：經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品：29條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：孔念偉 （市場）

產(chǎn)品簡介

上海伯東美國考夫曼霍爾離子源于離子刻蝕 (IBE) 應(yīng)用 Kaufman & Robinson,Inc (KRi) End Hall

詳細(xì)介紹

上海伯東美國考夫曼霍爾離子源于離子刻蝕 (IBE) 應(yīng)用 Kaufman & Robinson,Inc (KRi) End Hall
 

上海伯東為美國考夫曼公司離子源 離子槍 Kaufman & Robinson, Inc (KRi) 大中華總代理.美國霍爾離子源 離子槍 EH200, EH400, EH1000, EH200, EH3000 系列不僅廣泛應(yīng)用于生產(chǎn)單位,且因離子抨擊能量強(qiáng), 蝕刻效率快, 可因應(yīng)多種基材特性,單次使用*, 耗材成本極低, 操作簡易, 安裝簡易, 所以美國考夫曼霍爾離子源目前廣泛應(yīng)用于許多蝕刻制程及基板前處理制程.

 

客戶案例: 國內(nèi)某大學(xué)天文學(xué)系小尺寸刻蝕設(shè)備

  1. 系統(tǒng)功能: 對于 Fe, Se, Te , PCCO及多項材料刻蝕工藝.
  2. 樣品尺寸: 2吋硅芯片.
  3. 實際安裝:

刻蝕設(shè)備: 小型刻蝕設(shè)備. 選用上海伯東美國考夫曼霍爾離子源 EH400HC

P1090003 P1090004

 

離子源 EH400HC 安裝于刻蝕腔體內(nèi).

P1090002 P1090001

 

離子源 EH400HC 控制單元操作                 離子源 EH400HC 實際點(diǎn)燃 (氬氣)

P1120015P1120016 

 

對于 FeSeTe 刻蝕應(yīng)用, 離子源 EH400HC 條件: 110V/1.5A, 刻蝕速率 >20 A/Sec

 

對于 FeSeTe 刻蝕應(yīng)用, 離子源 EH400HC 條件: 110V/1.5A, 刻蝕速率 >17 Å/Sec

霍爾離子源 EH400HC 優(yōu)點(diǎn):

  • 高離子濃度 (High density), 低能量(Low energy)
  • 離子束涵蓋面積廣 (high ion beam sharp)               
  • 鍍膜均勻性佳
  • 提高鍍膜品質(zhì)
  • 模塊化設(shè)計, 保養(yǎng)快速方便
  • 增加光學(xué)膜后折射率 (Optical index)      
  • 全自動控制設(shè)計, 超做簡易
  • 低耗材成本,安裝簡易


    KRI    離子源簡介：
    美國考夫曼公司 離子源 離子槍發(fā)明人 Dr. Kaufman 考夫曼博士將此* VEECO 生產(chǎn).于1978年考夫曼博士在美國自行創(chuàng)立 Kaufman & Robinson, Inc. (KRi) 美國考夫曼公司, 歷經(jīng)30年離子源 離子槍之改良及研發(fā)并取得多項,目前已在光學(xué)鍍膜 (Optical coating), IBAD (離子源助鍍), IBSD (離子濺鍍), IBE (離子刻蝕), DD(離子鍍膜)等等應(yīng)用大量使用.上海伯東為美國考夫曼公司離子源 離子槍 Kaufman & Robinson, Inc (KRi) 中國總代理


 

上海伯東主要經(jīng)營產(chǎn)品德國 Pfeiffer渦輪分子泵, 干式真空泵, 羅茨真空泵, 旋片真空泵; 應(yīng)用于各種條件下的真空測量(真空計, 真空規(guī)管);氦質(zhì)譜檢漏儀；質(zhì)譜分析儀；真空系統(tǒng)以及 Cryopump 冷凝泵/低溫泵, HVA 真空閥門, Polycold 冷凍機(jī)和美國KRI Kaufman 考夫曼離子源離子槍

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86-21-5046-3511轉(zhuǎn)118              

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關(guān)鍵詞：真空泵 質(zhì)譜分析儀

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