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上海進(jìn)申工貿(mào)有限公司
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■設(shè)計(jì)用于氣體公司、設(shè)備制造商和半導(dǎo)體制造商的工藝氣體柜中的點(diǎn)式使用介質(zhì)流量
■設(shè)計(jì)用于氣體公司、設(shè)備制造商和半導(dǎo)體制造商的工藝氣體柜中的點(diǎn)式使用
介質(zhì)流量。
■精確控制工藝工具處或附近的氣體壓力,在 300 PSIG 入口處的流速高達(dá) 250 SLPM。
■所有內(nèi)表面都經(jīng)過10Ra 或5Ra 處理,以確保最小的顆粒產(chǎn)生和殘留。
金屬-金屬隔膜密封增強(qiáng)了防漏完整性。
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