臨沂物料凈化用室與潔凈室設備要求
潔凈室內額設備和物料出入口,應獨立設置,并應根據(jù)設備和物料額特征、性質、形狀等設置凈化用室及相應物凈設施。物料凈化用室與潔凈室之間應設置氣閘室或傳遞窗。
潔凈室內應采用具有防塵、防污染的生產設備和輔助生產設備,并應符合下列要求:表面應光潔、易清潔、不積塵、不揮發(fā)化學物質;設備的傳動部件等應密封性能好,并應防止?jié)櫥?、冷卻劑等的泄漏;對生產中發(fā)塵、排熱量大或排出有毒、可燃氣體的設備,應采取防擴散措施;設備的金屬外殼應設置接地設施。
臨沂物料凈化用室與潔凈室設備要求,當設備安裝在跨越不同空氣潔凈度等級的潔凈室時,宜采取密封隔斷措施。潔凈室內的設備宜選用低噪聲產品。當所使用的工器具進行凈化處理的設施。潔凈室內電子產品生產過程中各種零、部件存放和傳送,宜采用容器。潔凈室內設置真空泵時,應符合使用潤滑的真空泵應設備除油裝置,除油后尾氣應排入排氣系統(tǒng);對傳輸含有可燃氣體的真空泵,可然氣體濃度超過bao炸下限的20%時,應設尾氣處理裝置。在排氣系統(tǒng)前應去除或稀釋可燃氣體組分;傳輸易燃、自然化學品或高濃度引起的真空泵,應采用不然泵油,并應配置氮氣吹掃。
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