此款定制高溫氣相沉積系統(tǒng)主要用于TaC、HfC等物料及其復(fù)合碳化物等超高熔點涂層化學(xué)氣相沉積制備工藝的研究。
產(chǎn)品特點：
1、該系統(tǒng)由高溫沉積室、升華室、供氣系統(tǒng)及真空系統(tǒng)組成。采用雙層殼體結(jié)構(gòu)和30段程序控溫儀表，智能控溫?zé)o需要人看守。
2、爐膛采購氧化鋁多晶纖維材料。爐管兩端采用不銹鋼法蘭密封，密封法蘭上安裝有相關(guān)進(jìn)氣口及出氣口
應(yīng)用范圍：
廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)中沉積薄膜材料，包括大范圍的絕緣材料，以及大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料、二維材料等，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導(dǎo)電率測試、ZnO納米結(jié)構(gòu)的可控生長、陶瓷電容（MLCC）氣氛燒結(jié)等實驗。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 產(chǎn)品名稱 | 定制高溫CVD系統(tǒng) |
| 沉積爐 | |
| 產(chǎn)品型號 | KJ-T1500CVD-DZ |
| 爐膛模式 | 開啟式 |
| 爐膛材料 | 氧化鋁耐火纖維 |
| 加熱元件 | U型硅鉬棒 |
| 極限溫度 | 1600℃高溫區(qū) |
| 工作溫度 | ≤1500℃高溫區(qū) |
| 升溫速率 | ≤10℃/min |
| 加熱溫區(qū) | 單溫區(qū)、雙溫區(qū)、多溫區(qū) |
| 溫區(qū)總長度 | 200、300、400mm |
| 爐管材質(zhì) | 剛玉管 |
| 爐管直徑 | 40、50、60、80、100mm |
| 密封方式 | 定制不銹鋼真空法蘭一套(含密封硅膠圈) 底部法蘭有三個進(jìn)氣口 方便進(jìn)氣 底部法蘭加支架 方便工件放在沉積爐低溫區(qū) |
| 控制模式 | 每個溫區(qū)單獨 30段智能PID程序控溫 |
| 溫度曲線 | 多段"時間—溫度曲線"任意可設(shè) |
| 測溫元件 | B型雙鉑銠熱電偶 |
| 供電電源 | 220V/380V 50HZ |
| 供氣系統(tǒng) 集成在控制柜上 | |
| 氣體通道 | 可同時連接多種氣源 |
| 流 量 計 | 浮子流量計 |
| A路量程 | 1L/MIN |
| B路量程 | 1L/MIN |
| C路量程 | 1L/MIN |
| 氣路壓力 | -0.1～0.15 MPa |
| 截止閥 | 不銹鋼材質(zhì) |
| 氣體連接管 | 1/4不銹鋼管 |
| 氣化爐A、B | |
| 溫度 | 700 |
| 工作溫度 | 500 |
| 爐膛尺寸 | 定制 |
| 開門方式 | 上開 |
| 進(jìn)氣口 | 一個進(jìn)氣口 |
| 出氣口 | 一個出氣口 |
| 售后服務(wù) | 12個月質(zhì)保（易耗件及人為損壞除外），終身保修 |
1、我公司對所供設(shè)備提供質(zhì)保一年保修服務(wù)（易損件除外），在保修期內(nèi)因設(shè)備質(zhì)量原因造成的設(shè)備損壞或故障，均予以免費維修。保修期滿后，仍提供終身的、優(yōu)質(zhì)的維修服務(wù)。
2、在設(shè)備使用過程中如遇故障的，我公司將盡快做出處理方案，確保設(shè)備正常運行。
3、我公司設(shè)提供免費的設(shè)備操作培訓(xùn)和簡單故障排除維修培訓(xùn)。
4、我公司技術(shù)人員可提供(產(chǎn)品安裝調(diào)試、整機(jī)維護(hù)、技術(shù)講解及操作指導(dǎo)等)。
5、本公司可提供運輸服務(wù)，包裝方式均按照標(biāo)準(zhǔn)安全包裝進(jìn)行。隨機(jī)技術(shù)資料齊全（用戶手冊、保修手冊、有關(guān)資料及配件、隨機(jī)工具等）。
6、本公司所有產(chǎn)品均有歐盟CE質(zhì)量認(rèn)證。
