低溫等離子凈化器內(nèi)部產(chǎn)生富含化學活性的粒子，如電子、離子、自由基和激發(fā)態(tài)分子等。廢氣中的污染物質(zhì)與這些具有較高能量的活性基團發(fā)生反應，終轉(zhuǎn)化為CO2和H2O等物質(zhì)，從而達到凈化廢氣的目的。
低溫等離子凈化器去除污染物的機理：
低溫等離子凈化器化學反應過程中，等離子體傳遞化學能量的反應過程中能量的傳遞大致如下：
(1)電場＋電子→高能電子；
(2)高能電子＋分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團)活性基團；
(3)活性基團＋分子(原子)→生成物+熱；
(4)活性基團＋活性基團→生成物+熱。
從以上過程可以看出，電子先從電場獲得能量，通過激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團；之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，高能電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強的物質(zhì)俘獲，成為負離子。這類負離子具有很好的化學活性，在化學反應中起著重要的作用。
低溫等離子凈化器的凈化方法：
低溫等離子凈化器在進行工作的時候，它主要采用到了的吸附、分解、碳化的方式，離心式抽風機的安裝和工藝技術(shù)的應用讓等離子凈化器具有著更多的優(yōu)點，它也是一種干法處理廢氣的設備。等離子凈化器在工業(yè)中的應用改變了活性炭材料的工藝和技術(shù)，在使用的時候更換維護都會更加的方便一些。
低溫等離子是一種聚集態(tài)物質(zhì)，它不同于我們所認識的固體、液體、氣體，它是物質(zhì)的第四種形態(tài)，在運行過程中當外加電壓達到了氣體放電的電壓的時候，氣體就會被擊穿，這時就會產(chǎn)生出各種離子和原子在內(nèi)的混合體，雖然在放電過程中電子的溫度非常高，但是重粒子的溫度卻是很低的，這時整個體系都會呈現(xiàn)出低溫的狀態(tài)，因此它也就被稱之為是低溫等離子體了。
