Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000
OG-5000系列臭氧發(fā)生器是為滿足半導(dǎo)體工業(yè)中對(duì)高濃度潔凈臭氧的需求而設(shè)計(jì)的,可應(yīng)用于化學(xué)氣相沉積、原子層沉積、氧化物生長(zhǎng)和濕臺(tái)流程中。OG-5000系列設(shè)計(jì)緊湊,使用水冷系統(tǒng),能夠簡(jiǎn)便的整合進(jìn)TAPI的臭氧系統(tǒng)控制器、臭氧泄露探測(cè)器、臭氧濃度監(jiān)測(cè)器和臭氧破壞器中。Teledyne API水冷式臭氧發(fā)生器OG-5000該儀器經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)使得它可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體流程中。

- 高純度臭氧
- 高臭氧濃度
- 價(jià)格低
- 無(wú)耗材
- 設(shè)計(jì)緊湊,模塊化
- 經(jīng)過(guò)驗(yàn)證的技術(shù)