Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS

ODS系列高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)為要求*高的半導(dǎo)體應(yīng)用而設(shè)計(jì)。這個(gè)高度可靠的臭氧輸送系統(tǒng)適合需求不同流量的高濃度臭氧的應(yīng)用中。該臭氧輸送系統(tǒng)整合，操作簡(jiǎn)單，能夠方便的與絕大多數(shù)半導(dǎo)體機(jī)臺(tái)聯(lián)動(dòng)，插入即可使用。產(chǎn)品：微量氧分析儀,藥品殘氧儀,露點(diǎn)儀,熱導(dǎo)氣體分析儀,GE流量計(jì),OX-1氧傳感器,頂空分析儀,紅外氣體分析儀,高溫濕度儀,西門(mén)子U23分析儀,ppb微量水分析儀,OXY.IQ氧分析儀,煙氣濕度儀,燃?xì)鉄嶂祪x,Kaye溫度驗(yàn)證儀,L&W白度,儀激光氧分析儀,壓縮空氣露點(diǎn)儀,干燥機(jī)露點(diǎn)儀,激光氣體分析儀,便攜式露點(diǎn)儀,便攜式微量氧分析儀，Fei （維修中心，代表處，總代理，分公司，子公司，售后中心，銷(xiāo)售中心，上海辦，辦事處）

Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS該臭氧輸送系統(tǒng)包括多通道臭氧泄露探測(cè)器和帶排氣系統(tǒng)的外殼。全部的氣體管線都有雙重保險(xiǎn)。

• 高純度水冷臭氧發(fā)生器，可生產(chǎn)濃度高達(dá)350 g/Nm3的臭氧
  
• 的高濃度監(jiān)測(cè)儀
• 使用質(zhì)量流量控制器監(jiān)測(cè)和控制臭氧和進(jìn)料氣 
  
• 完整的**聯(lián)鎖和EMO系統(tǒng)
  
• 支持*多四個(gè)獨(dú)立的伺服控制回路
• 19英寸機(jī)架固定，頂端配有排氣系統(tǒng)，底端配有輪子

Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS規(guī)格

Teledyne API高濃度高純度臭氧輸送系統(tǒng)ODS - 氧氣輸送系統(tǒng)具有多功能性，且安裝使用簡(jiǎn)單，已經(jīng)廣泛應(yīng)用在需求不同濃度、流量的薄片處理應(yīng)用中，例如：

• 半導(dǎo)體
  
• 化學(xué)氣相沉積(CVD)
  
• 原子層沉積(ALD)
  
• 氧化物生長(zhǎng)
• 表面處理
• 粒子清潔
• 光刻膠去除
• 灰化