Setra的227型傳感器專用于當(dāng)今的300mm工具所要求的高密度、模塊式block氣體棒和面板。227型1-1/8“的占地面積優(yōu)化了有價(jià)值的空間，其堅(jiān)固的設(shè)計(jì)使其非常適合那些要求長期穩(wěn)定性、高精度和對惡劣環(huán)境格外不敏感的壓力