半導體潔凈烘箱是一種提供高溫凈化環(huán)境的專用潔凈爐設備。潔凈烘箱內(nèi)的空氣密閉自循環(huán)，經(jīng)耐高溫空氣溫度空氣過濾器反復過濾，使干燥室處于無塵狀態(tài)。適用于電子工業(yè)中半導體器件