ETA電子遷移評估系統(tǒng)，實現(xiàn)了施加大電流，高精度的測量,以對AI及Cu的配線可靠性評價之一的電子遷移現(xiàn)象通過施加高電流、高精度測量進行評價的EM測試器為中心，加熱方式可以是烤箱（熱風(fēng)循環(huán)方式：V100），和DH型（直