特點：●密封結(jié)構(gòu)設(shè)計*，漏率可達到＜1×10-10Pa.M3/S,改變了球閥不能滿足高真空、超高真空的現(xiàn)狀；●開關(guān)扭矩小，配置電動執(zhí)行器小，工作穩(wěn)定、可靠；●結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，外形簡潔、美觀；●該閥既能適用高真空，又