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詳細(xì)摘要： 百級(jí)潔凈氮?dú)夤襁m合半導(dǎo)體前端單晶硅制程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象；由于大部分的存儲(chǔ)柜或者是氮?dú)夤裨O(shè)計(jì)都為全封閉環(huán)境，只控制濕度及氧含量濃度...

詳細(xì)摘要： 全功能自制氮柜產(chǎn)品特點(diǎn)： 無需外接氮?dú)?。?shí)現(xiàn)99%節(jié)約氮?dú)?。核心組件為，無有機(jī)蒸氣。其自制氮?dú)庋b置，具有分離過程無相變，氮?dú)鈮毫p失小，能耗低，操作簡(jiǎn)單，無運(yùn)動(dòng)...