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產(chǎn)品介紹:KJ-T1050-CVD-LZ型石墨稀、碳納米管材料CVD設(shè)備由管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)+水冷系統(tǒng)組成,溫度可以達到1050度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)...
產(chǎn)品特點:1、可滿足多晶硅、氮化硅、擴散、氧化、退火等工藝2、采用高可靠性工控機+PLC模式,對爐溫、進退舟、氣體流量、閥門進行全自動控制,實現(xiàn)全部工藝過程自動...
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