單晶硅和多晶硅切片清洗會用到大量的去離子水對硅片清洗,水中的金屬離子會直接影響產(chǎn)品性能, 蘇州市創(chuàng)聯(lián)凈化設(shè)備有限公司是一家十幾年從事高純水設(shè)備設(shè)計制造安裝服務(wù)的專業(yè)性公司,產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各種微電子行業(yè)用高純水,如半導(dǎo)體生產(chǎn)、電子二級管生產(chǎn)、電子線路板生產(chǎn)、新能源電池生產(chǎn)、鋁箔腐蝕化成生產(chǎn)用高純水設(shè)備。在單晶和多晶硅生產(chǎn)過程中從原料高純硅粉生產(chǎn)、拉晶、多晶硅方舟、石英坩堝生產(chǎn)、硅片切割、電池片生產(chǎn)、半導(dǎo)體生產(chǎn)均會用到。 目前一般用高純水設(shè)備的水質(zhì)普遍要求在18兆歐以上,基本上會采用二級反滲透+edi處理工藝。此處理工藝具有綠色環(huán)保、節(jié)能、運行穩(wěn)定、操作簡便等優(yōu)點。
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