| 50t/h電子級高純水設(shè)備介紹 | |
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| 電子級高純水設(shè)備采用反滲透技術(shù)，全膜法制取高純水，水質(zhì)穩(wěn)定18兆歐以上，具有自動化程度高，設(shè)備集成程度高，綠色環(huán)保，操作維護(hù)簡便等特點(diǎn)。 | |
| ■主要用途： | |
| ※電子線路板生產(chǎn)制造用高純水設(shè)備； | |
| ※半導(dǎo)體芯片晶元清洗用純水設(shè)備； | |
| ※太陽能光伏（硅粉生產(chǎn)、單晶多晶生產(chǎn)、石英坩堝、多晶硅方舟、太陽能電池片生產(chǎn)）用電子級高純水設(shè)備 | |
| ※鋰電池新能源材料生產(chǎn)用去離子水設(shè)備 | |
| ※納米和高純度電子級材料生產(chǎn)用超純水設(shè)備 | |
| ■系統(tǒng)處理工藝流程圖 | |
| 原水→原水箱→原水增壓泵→超濾膜系統(tǒng)→凈水箱→增壓泵→阻垢劑加藥系統(tǒng)/還原劑加藥系統(tǒng)→保安過濾器→高壓泵1→反滲透裝置1（I級二段）→中間水箱→PH調(diào)節(jié)裝置→高壓泵2→反滲透裝置2→純水箱→輸送泵→EDI電除鹽系統(tǒng)→EDI高純水箱→高純水輸送泵→拋光混床→TOC去除器→過濾器→用水點(diǎn) | |
| 注：本系統(tǒng)采用反滲透和EDI處理工藝，主要有四個(gè)部分組成，預(yù)處理系統(tǒng)、二級反滲透主機(jī)系統(tǒng)、EDI電除鹽系統(tǒng)、拋光混床系統(tǒng)； | |
| 原水采用自來水通過增壓泵增壓進(jìn)入超濾系統(tǒng)，去除水中的懸浮物、膠體等，配套有還原劑加藥系統(tǒng)和阻垢劑加藥系統(tǒng)，可有效降低水中渾濁度，防止反滲透膜的結(jié)垢，提高反滲透膜的使用壽命； | |
| 二級反滲透系統(tǒng)采用陶氏或海德能品牌反滲透膜技術(shù)，自動制膜技術(shù)有效保證每支膜的水處理性能。I級反滲透采用CPA3型號的反滲透膜，該膜具有脫鹽率較高、操作壓力較小，抗污染性能，膜的脫鹽率可以達(dá)到99.7百分之；二級反滲透膜采用BW30-400系列膜，該膜廣泛使用二級反滲透系統(tǒng)中，相對于其它膜在二級中具有更好的脫鹽效率。二級反滲透出水水質(zhì)電導(dǎo)率可以達(dá)到5微西門子以下； |  |
| EDI電除鹽系統(tǒng)采用雙電壓模塊，EDI作為綠色脫鹽模式，具有以下優(yōu)點(diǎn)：占地面積省、運(yùn)行成本低、系統(tǒng)設(shè)計(jì)簡單、水質(zhì)穩(wěn)定、安裝維修簡便、綠色環(huán)保，不需要酸堿再生、可實(shí)現(xiàn)連續(xù)生產(chǎn)。EDI出水電阻率可以達(dá)到15~17兆歐； | |
| 拋光混床系統(tǒng)采用上海樹脂廠和羅門哈斯合資品牌拋光核級樹脂，拋光混床作為制取超純水的核心部件，經(jīng)處理后出水可以達(dá)到18兆歐以上，滿足微電子行業(yè)用水要求； | |
| 系統(tǒng)中電氣控制情況 | |
| 本設(shè)備采用觸摸屏PLC控制，系統(tǒng)中各工藝點(diǎn)的運(yùn)行情況，在觸摸屏中都有所設(shè)計(jì)，系統(tǒng)故障有警示及指示功能，可以通過觸摸屏直觀的了解設(shè)備運(yùn)行情況、故障分析； |  |
| 該設(shè)備中的水箱和水泵均設(shè)計(jì)有液位連動控制，可以實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)無人值守； | |
| 高壓泵均設(shè)計(jì)有壓力保護(hù)裝置； | |
| 系統(tǒng)中的高純水電阻率儀有警示和信號輸出功能，在水質(zhì)達(dá)不到設(shè)定要求自動警示。 | |
| ■技術(shù)參數(shù)總表 | |
| 項(xiàng)目 型號 | CL-50T/H型高純水設(shè)備 |
| 應(yīng)用行業(yè) | 高純水工藝用水 |
| 設(shè)備控制方式 | 觸摸屏PLC控制，各液位、壓力連鎖控制，實(shí)現(xiàn)無人值守 |
| 產(chǎn)水量 | 50T/H |
| 進(jìn)水水質(zhì)指標(biāo) | 市政自來水 ，電導(dǎo)率≤800μS/cm |
| 產(chǎn)水水質(zhì) | 電阻率≥18MΩ.CM） |
| 反滲透設(shè)備系統(tǒng)脫鹽率 | 99.7百分之 |
| 自來水損耗 | 50t/h |
| 進(jìn)水溫度 | 10~40℃ |
| 工作方式 | 可24小時(shí)運(yùn)行 |
| 設(shè)備額定功率 | 約160KW |
| 電源 | 380V AC 50HZ 三相五線 |
| 反滲透系統(tǒng)回收率 | 70~75百分之 |
| 主機(jī)設(shè)備規(guī)格尺寸 | 長6000*寬2500*高2000 |
| 廠房建議尺寸（含操作維護(hù)空間） | 長25M*寬10M*高5M |
| 進(jìn)水口徑 | DN125 PN1.0法蘭接口 |
| 出水口徑 | DN90 PN1.0法蘭接口 |
| 排污口徑 | DN120 PN1.0法蘭接口 |
